Kalibrační mřížka TGT1

Kalibrační mřížka pro charakterizaci hrotu.

Parametry

Struktura: mřížka je zformována na Si waferu

Vzor: 3D soustava ostrých hrotů

Perioda: 3 ±0,05 um

Výška: 0,3 - 0,5 um

Velikost chipu: 5x5x0,5 mm

Efektivní oblast (uprostřed čtverce): 2x2 mm

Úhel hrotu: 50 ±10° (na úplném konci hrotu) 

Vrcholový průměr: <= 10 nm

Diagonální perioda: 2,12 um