AFM sondy založené na křemenné ladičky spojené s mikro-obráběným kantilevrem. Velkou výhodou těchto sond je kombinace stabilní oscilace ladičky a výhodné silové konstanty křemíkového kantilevru v jedné sondě.
Parametry hrotu:
Tvar: viditelný
Výška: 28 um
Průměr: < 15 nm
Parametry kantilevru:
Tvar: Dvojitý nosník
Silová konstanta: 5 N/m
Rezonanční frekvence: 50 kHz
Délka: 310 um
Šířka: 30 um
Tloušťka: 3,7 um